一、 设备名称：半自动七槽式清洗机
二、型号：
三、设备用途：用于污物清洗。
四、设备能力:
清洗节拍：4--6分钟/篮。
母篮尺寸：480mm*420mm*400mm（采用SUS304制作）。
五.清洗工艺:
超声波+鼓泡清洗→超声波+鼓泡纯水漂洗→超声波+鼓泡碱洗→超声波+鼓泡碱洗→超声波+鼓泡纯水漂洗→超声波+鼓泡纯水漂洗→超声波+鼓泡纯水漂洗
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工序名称
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处理方式
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介质
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温度
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时间
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加热功率
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1
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超声波清洗
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超声波+鼓泡+抛动 2100W/40KHz
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市水
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30℃～70℃
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每4～6分钟150片
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9KW
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2
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超声波碱洗
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碱液
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3
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超声波碱洗
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4
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超声波碱洗
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5
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超声波纯水漂洗
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纯水
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6
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超声波纯水漂洗
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7
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超声波纯水漂洗
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六.设备主要技术要求:
6.1 结构组成
此清洗设备主要由槽式清洗主体、超声波系统、抛动机构、电气控制等部分组成。
6.2 设备描述
该清洗机是手动操作，由由继电器控制，7个由不锈钢槽体制作的清洗槽、碱洗槽、漂洗槽组成的一条连续工作的装置。整个过程是手工提篮，对硅片依次进行清洗、碱洗、漂洗后，接着进行下一道工序。
6.3设备主要技术要求：
6.3.1 第一槽：超声波清洗槽
A．内槽尺寸：580×550×550 （L×W×H mm），槽体采用2mm厚304材料制作。
B.超声功率：2.1KW （底震式超声振板，震动面表面镀硬铬）；底振振板尺寸：480×450×80 （L×W×H mm）；振板采用2.5mm厚316材料制作。
C.超声频率：40KHZ/50W 超声功率连续可调可显示，可单独控制，配有扫描电路，并设有电流大小指示表。
D．加热功率：9KW，采用日本欧姆龙数显温控器控温，温度可调整、设定。温控范围：RT-100℃可调，温控精度：设定值的±3℃。
E．保温：槽外包保温棉。
F.清洗槽设进水口、排液口、溢流口；进水管、排液管均设有阀门，水从溢流口流出，
通过总排水管排到排水道。
G．进水管、气管均自上往下连接。
H．抛动：在清洗过程中边清洗边抛动。
I．鼓泡：在槽里装有鼓泡管，与需方的气管路连接，通过手动阀门控制。
J．清 洗 液:自来水。
6.3.2 第二、三、四槽：超声波碱洗槽
A．内槽尺寸：580×550×550 （L×W×H mm），槽体采用2mm厚304材料制作。
B.超声功率：2.1KW （底震式超声振板，震动面表面镀硬铬）；底振振板尺寸：480×450×80 （L×W×H mm）；振板采用2.5mm厚316材料制作。
C.超声频率：40KHZ /50W 超声功率连续可调可显示，可单独控制，配有扫描电路，并设有电流大小指示表。
D．加热功率：9KW，采用日本欧姆龙数显温控器控温，温度可调整、设定。温控范围：RT-100℃可调，温控精度：设定值的±3℃。
E．保温：槽外包保温棉。
F. 清洗槽设进水口、排液口、溢流口；进水管、排液管均设有阀门；当用为碱液清
洗时，溢流为停止状态。
G．进水管、气管均自上往下连接。
H．抛动：在清洗过程中边清洗边抛动。
I．鼓泡：在槽里装有鼓泡管，与需方的气管路连接，通过手动阀门控制。
J．清 洗 液:碱液。
6.3.3 第五、六、七槽：超声波纯水漂洗槽
A．内槽尺寸：580×550×550 （L×W×H mm），槽体采用2mm厚304材料制作。
B.超声功率：2.1KW （底震式超声振板，震动面表面镀硬铬）；底振振板尺寸：480×450×80 （L×W×H mm）；振板采用2.5mm厚316材料制作。
C.超声频率：40KHZ /50W 超声功率连续可调可显示，可单独控制，配有扫描电路，并设有电流大小指示表。
D．加热功率：9KW，采用日本欧姆龙数显温控器控温，温度可调整、设定。温控范围：RT-100℃可调，温控精度：设定值的±3℃。
E．保温：槽外包保温棉。
F. 漂洗槽设进水口、排液口、溢流口；进水管、排液管均设有阀门，水从溢流口流
出，通过总排水管排到排水道。
G．进水管、气管均自上往下连接。
H．抛动：在清洗过程中边清洗边抛动。
I．鼓泡：在槽里装有鼓泡管，与需方的气管路连接，通过手动阀门控制。
J．清 洗 液:纯水。
6.3.4超声波技术参数和特点
（1） 超声波发生器采用目前国际领先的他激式震荡线路结构，较以前的自激式震荡线路结构在输出功率增加15%以上。
（2） 超声波发生器装置工作电压AC220±10V。超声波发生器具有过压，过流，输出短路等保护措施。
（3） 超声波发生器有频率微调的功能，调整范围2%，在不同的工况条件下略微调整使换能器始终工作在最佳状态下，换能效率达到最大，在不同工况下都能达到最佳效果。
（4） 超声波发生器具有扫频功能，通过在清洗过程中超声波频率在合理的范围内往复扫动，带动清洗液形成细微回流，使工件污垢在被超声剥离的同时迅速带离工件表面，提高清洗效率。
（5） 超声波发生器具有功率无级调节的功能，输出功率可实现10%——100%的连续调整，以适应各种清对象的要求。